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行業(yè)動態(tài)
深圳石墨模具舟晶圓裝載室：太陽能行業(yè)使用，配合PECVD載具，裝載硅片，準(zhǔn)備中效、高效過濾器，保證吹送的空氣達到凈化要求。
深圳石墨模具舟的工作原理：
空氣經(jīng)過高效過濾后，阻尼層被均勻壓緊，使?jié)崈舻臍饬鞔怪眴蜗蛩腿刖b載工作區(qū)，保證了工作區(qū)的清潔度達到工藝要求，操作人員在潔凈的環(huán)境下將硅片裝載到石墨舟內(nèi)。
深圳石墨模具船的主要特點：
1.石墨舟裝卸車能夠準(zhǔn)確定位；
2.采用不銹鋼制造，整機結(jié)構(gòu)牢固可靠；
3.使用三個GK系列高效空氣過濾器。
4.PECVD載具可傾斜15度或內(nèi)部旋轉(zhuǎn)180度；
5.凈化風(fēng)機噪音小于50dB。
6.確保工作區(qū)的潔凈度達到工藝要求的100級。
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